Pagrindinė PR valymo automatizuotos gamybos linijos įranga LCD ekranų gamintojams
PR (photoresist) valymo automatizuota gamybos linija yra pagrindinė šlapio proceso įranga LCD ekranų gamyboje. Jis pirmiausia naudojamas po fotolitografijos proceso ant matricos substrato, kad būtų kruopščiai pašalintas fotorezisto likutis, ėsdinimo likučiai ir paviršiaus mikro{1}}teršalai. Tai labai svarbi įranga, užtikrinanti skydo grandinės tikslumą ir gerinant produkto išeigą. Puikiai pritaikytas griežtai 100 klasės švarios patalpos gamybos aplinkai, užtikrina aukštą-tikslumą, automatizavimą ir neteršia-uždarojo{7}}ciklo valymo operacijas.
Po fotolitografijos proceso taikant teigiamą ir neigiamą fotorezisto likutį, jis naudoja kelių{0}}pakopų ultragarsinį valymą + gryno vandens perpildymo skalavimo procesą, kad giliai pašalintų šiukšles, organinius teršalus, dulkių daleles ir kitas priemaišas, likusias po fotolitografinio ėsdinimo. Jis gali kruopščiai pašalinti mikroskopinius likučius, mažesnius nei 0,5 μm, užkertant kelią defektams, tokiems kaip atviros plokštės grandinės, ryškios dėmės ir Mura dėmės, kurias sukelia priemaišos. Kartu su 0,1 μm- tikslumo filtravimo sistema apsaugo nuo antrinio užteršimo. Juo pasiekiamas kruopštus, nepažeidžiamas-pašalinimas, išvengiant likusių klijų sluoksnių poveikio tolesniems ėsdinimo ir dengimo procesams, o pašalinimo padengimo lygis yra 100%.
Integruotas-ESD elektrostatinis valdymo modulis griežtai kontroliuoja elektrostatinę vertę, kuri yra mažesnė nei ±100 V arba lygi. Kartu su ertmėje esančia anti-statiška medžiaga ir bekontakčių magnetinių ratų tiekimo technologija apsaugo nuo elektrostatinės iškrovos, kuri nepažeis plokštės tikslios grandinės, taip pat apsaugo nuo įbrėžimų, įtrūkimų ir dulkių susidarymo dėl trinties ant stiklo pagrindo, taip maksimaliai apsaugodamas pagrindo vientisumą.
Aukštos ir žemos temperatūros pastovios temperatūros bandymo kamera
Skystųjų kristalų ekranų gamintojų automatizuotos valymo ir džiovinimo gamybos linijos įrangos branduolys apima dvigubą džiovinimo režimą: pjovimą oro peiliu ir pastovią{0}}temperatūrą karštu oru. Tai greitai pašalina vandens dėmes nuo pagrindo paviršiaus ir išdžiūsta be vandens ženklų-ir pėdsakų-. Po džiovinimo substrato paviršiaus drėgmės kiekis artėja prie nulio, todėl galima tiesiogiai perkelti į kitą procesą be antrinio apdorojimo, užtikrinant proceso tęstinumą. PLC valdymo sistema įgalina visiškai automatizuotą uždarą{6}}pakrovimo, padėties nustatymo, valymo ir iškrovimo procesą. Jis palaiko stebėjimo{8}}realiu laiku ir signalizacijos funkcijas, skirtas valymo tirpalo koncentracijos, temperatūros, drėgmės ir švaros reguliavimui. Sandari kamera ir gradiento neigiamo slėgio konstrukcija apsaugo nuo cheminių dujų nuotėkio. Kartu su teigiamo slėgio aplinka 100 klasės švarioje patalpoje, ji taip pat leidžia perdirbti itin švarų vandenį ir klasifikuoti bei regeneruoti atliekas, atitinkančias energijos taupymo ir aplinkos apsaugos reikalavimus.
Lyginant su tradiciniu rankiniu valymu, visiškai automatizuotos PR valymo gamybos linijos turi nepakeičiamų pranašumų: valymo efektyvumas padidinamas daugiau nei 3 kartus, o per pamainą galima apdoroti beveik 10 000 stiklo substratų, ženkliai sutrumpinant proceso ciklą; valymo konsistencija yra puiki, kruopščiai pašalina mažesnes nei 0,5 μm mikro- likučius, kontroliuoja skydelio defektų dažnį 0,5 PPM tikslumu, efektyviai išvengiama tokių defektų kaip šviesios dėmės, tamsios dėmės ir grandinės pertraukos ekrane; Įranga pritaikyta vandens-taupymo ir energijos-taupymo konstrukcijai, pasižyminčia dideliu gryno vandens atgavimo greičiu ir klasifikuojamu nuotekų surinkimu bei valymu, atitinkančia aplinkos apsaugos gamybos reikalavimus; visa mašina pagaminta iš korozijai -atsparaus PVC ir SUS304 nerūdijančio plieno, pasižymi tvirtu sandarumu, lengvai valoma ir prižiūrima, tinka 24 -nepertraukiamam darbui švariose patalpose, todėl LCD ekranų gamintojams tampa standartine įranga, kuri gamina aukščiausios klasės produktų linijas ir didina pagrindinį konkurencingumą.
Pagrindinė įranga LCD ekranų gamintojų fotolitografijos dirbtuvėse
Ekspozicijos įranga yra pagrindinė fotolitografijos dirbtuvės įranga ir pagrindinė proceso sritis LCD matricos gamybos procese. Taip pat žinomas kaip skydinės litografijos aparatas, tai didelio-tikslumo optinio šlapiojo proceso įrenginys. Pagrindinė jo funkcija – per optinę ekspoziciją perkelti pagrindo grandinės modelio šabloną ant stiklo pagrindo, padengto fotorezistu, o tai labai svarbu norint susidaryti mikro-grandinėms plokštėje. Tikslus grandinės modelio perkėlimas iš fotokaukės į stiklo pagrindą yra būtina sąlyga tolesniems ėsdinimo, dengimo ir PR valymo procesams, tiesiogiai nulemsintiems ekrano kokybę. Įrangoje naudojamas bekontaktinio poveikio procesas, tinkamas didelio-dydžio ploniems LCD stiklo paviršiams, kad būtų išvengta substrato įbrėžimų, pažeidimų ir užteršimo.
Pagrindiniai technologiniai pranašumai apima didelio-tiksliojo išlygiavimo sistemą su mikronų-lygio ar net žemesniu-mikrono-lygio perdangos tikslumu, užtikrinančiu nulinį nesutapimą kelių-sluoksnių grandinėse, o klaidos kontroliuojamos kelių tūkstantųjų plauko skersmens tikslumu; vienodos ekspozicijos šviesos šaltinio ir dinaminio fokusavimo technologijos naudojimas, siekiant pasiekti ekspozicijos energijos svyravimus<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Visoje dirbtuvėje naudojamas 589 nm monochromatinis geltonos šviesos šaltinis, visiškai išfiltruojantis trumpo-bangos ilgio šviesą, pvz., ultravioletinę, mėlyną ir baltą šviesą, neleidžiant šiems spinduliams per anksti suaktyvinti fotochemines fotorezisto reakcijas, sukeldamas mirtinus defektus, pvz., rašto nesutapimą, neužbaigtas linijas, trumpus jungimus ir atviras grandines. Apšvietimo sistemoje naudojamas specialių geltonų šviesos diodų ir dvigubo sluoksnio filtrų derinys, kad būtų išvengta išsklaidytos šviesos; durys, langai ir apžvalgos langai aprūpinti anti-ultravioletinių filtrų medžiagomis; Mobilieji telefonai, fotoaparatai, didelio galingumo žibintuvėliai ir kiti išoriniai šviesos šaltiniai yra griežtai draudžiami dirbtuvėse, o visapusiška-apšvietimo kontrolė įgyvendinama siekiant išvengti priešlaikinio fotorezisto poveikio iš šaltinio.
Įvadas į 100 klasės švarias patalpas, skirtas LCD ekranų gamintojams
Didelio{0}}tikslumo LCD gamybos srityje 100 klasės švarios patalpos (ISO 5 klasės švarios patalpos) yra pagrindinė gamybos įranga ir pagrindinis gamintojo techninės galios ir produkto išeigumo rodiklis. Jie plačiai naudojami pagrindiniuose proceso etapuose, tokiuose kaip masyvas, elementų surinkimas ir modulių pakavimas pirmaujančiose ekranų kompanijose, tokiose kaip BOE, TCL CSOT, HKC ir Tianma. Šioms švarioms patalpoms taikomi griežti švaros standartai, juose yra ne daugiau kaip 100 suspenduotų dulkių dalelių, kurių skersmuo didesnis arba lygus 0,5 μm viename kubiniame metre (mažiau arba lygus 3520 viename kubiniame metre). Šis švaros lygis gerokai viršija medicininių operacinių patalpų švarą ir tarnauja kaip „tvirtas barjeras“, neleidžiantis dulkėms, statinei elektrai ir cheminiams teršalams trukdyti tiksliams procesams. Tai yra pagrindinis aparatinės įrangos komponentas, tiesiogiai lemiantis ekrano vaizdo kokybę, eksploatavimo trukmę ir našumo rodiklį.
Dirbtuvės suprojektuotos ir pastatytos griežtai laikantis ISO tarptautinių ir vietinių standartų. Jame naudojamas vertikalus vienakryptis oro srauto režimas, kartu su keturių-pakopų ULPA filtravimo sistema (išankstinis-filtras, vidutinio-efektyvumo filtras, didelio-efektyvumo filtras ir ypač -didelio-efektyvumo filtras), užtikrinantis filtravimo efektyvumą ir pašalinant dulkes iki 9 %, 99 % oro srauto. negyvosios zonos. Tuo pačiu metu pasiekiama tiksli aplinkos kontrolė visais matmenimis: pastovi 23±1 laipsnio temperatūra, 45%-55% santykinė drėgmė, švarioje zonoje palaikoma teigiamo slėgio būsena ir 10Pa arba 10Pa slėgio skirtumas tarp gretimų sričių, visiškai užkertant kelią išorinių dulkių įsiskverbimui; atsižvelgiant į ekrano plokščių jautrumą elektrostatiniam pažeidimui, naudojamos antistatinės epoksidinės savaime išsilyginančios grindys, o sienoms ir luboms naudojamos 304 nerūdijančio plieno ir švarių patalpų spalvos plieno plokštės, kurių metu griežtai kontroliuojamos statinės elektros vertės; papildoma molekulinio-lygio LOJ cheminių teršalų ir latentinių trukdžių, pvz., mikrovibracijų, kontrolė, atitinkanti nanoskalės procesų, pvz., fotolitografijos, plonasluoksnio nusodinimo ir skystųjų kristalų įpurškimo, reikalavimus.
Dirbtuvėse taikomas pakopinis švarių patalpų zonavimo projektas, padalintas į 100 klasės pagrindinę sritį, 1000 klasės buferinę zoną ir 10 000 klasės pagalbinę zoną su sluoksniais, apsaugančiais nuo kryžminio-užteršimo, o personalo ir automatizuotų medžiagų konvejerio linijos yra visiškai atskirtos. Darbuotojai turi atlikti trigubą drabužių persirengimo, oro dušo ir elektrostatinės srovės aptikimo procesą, o įeiti gali tik užsidėję pilną-kūno švarios patalpos kostiumą, mūvėdami-dulkių neturinčias pirštines ir akinius; medžiagos perduodamos per blokuotus perdavimo langus ir pašalinamos nuo dulkių bei statinės elektros; viduje yra FFU laminarinio srauto gaubtai, internetiniai dalelių skaitikliai, temperatūros ir drėgmės jutikliai, diferencinio slėgio monitoriai ir kita įranga, užtikrinanti 24 -valandų stebėjimą ir duomenų atsekimą realiuoju laiku, o esant neįprastiems indikatoriams, jie nedelsiant įspėja ir koreguoja, kad būtų užtikrintas nuolatinis aplinkos stabilumas.
